扫描隧道显微镜组件、反应器和系统
 
US13388223  2010-6-22  发明申请

2012-9-27
 
  扫描隧道显微镜(STM)反应器的一个实施例包括压力容器、STM组件和三个弹簧耦合物体。 压力容器包括可密封端口、内部和外部。 STM系统的一个实施例包括真空室、STM反应器和三个弹簧。 三个弹簧将STM反应器耦合到真空室,并且在STM反应器的操作期间可操作以将扫描隧道显微镜反应器悬浮在真空室的内部内。 STM组件的一个实施例包括粗位移装置、耦合到粗位移装置的压电细位移扫描管和接收器。 压电微位移扫描管耦合到粗位移装置。 接收器耦合到压电扫描管并且可操作以接收尖端保持器,并且尖端保持器可操作以接收尖端。
 
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