| 显微镜 |
| EP12002018 2012-3-21 发明申请 |
| 2012-9-26 |
| 本发明提供一种显微镜能够有效地进行3D成像的，而不管所述的一种样品的形状。采用的是一种激光显微镜包括 : 一区分割部(31)，其段一种样品的观察范围在该方向垂直于所述物镜的光学轴成多个的区域; 一个表面-位置存储部(32)，其存储关联中的一种机动载物台的位置与表面位置的所述试样，用于所述多个区域的; 一种表面形状估计部(34)估计所述样品的表面形状从所述位置的所述的电动所述样品级和所述表面的位置存储在所述表面-位置存储部(32)用于所述多个区域的; 一Z-扫描条件确定部分(35)，其确定所述样品表面的位置在所需位置的所述的电动所述样品级从所述的表面形状估计由所述表面形状估计部(34); 和一个光检测部分检测从所述指定的样品在一定范围的光与参考到所述所述样品表面的位置确定通过所述Z-扫描条件确定部分(35)，所述的光学轴方向中的所述物镜透镜。 |
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