| 扫描探针显微镜 |
| RU2011109667 2011-3-16 发明授权 |
| 2012-9-20 |
| 领域 : 物理学。物质 : 本发明是还指用于使用与一个扫描探针显微镜分析时微-和纳米-的浮雕一个表面，所述扫描探头显微镜具有一个振动-绝缘基，一个精确的定位驱动其之间提供可检测的交互一探头和一个样本，一探针检测机构和一个反馈机构，其能够以调节距离分离所述探头和所述样品，作为井为一种六-轴向接近和定位机械系统，一个可编程的测量和位移控制单元和一个测量传感器与一反馈机构，效果 : 所述扫描探头显微镜的更宽的功能能力由于所述该显微镜具有大的操作的可能性和不规则形状的样品尽管所需要的样品的定位和测量所述之间的距离所述探头和所述sample.1划出 |
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