| 光学显微镜，和光谱测量方法。 |
| WOJP12001664 2012-3-9 发明申请 |
| 2012-9-20 |
| 本发明提供一种光学显微镜和一个光谱测量方法，其中使要制成高-分辨率测量。本发明的一个实施例中的一光谱仪是提供具有 : 一激光光源(10); 一物镜透镜(21)会聚的光束，并使该光束以撞击一个样品(22); 一个Y-扫描器(13)使该光束扫描所述的光点位置在所述样品(22); 一束分离器(17)将所述发射从所述样品发出的光(22)到所述的物镜(21)。侧，所述发出的光具有不同的所述光束的波长比所述其余部分其撞击样品(22); 和所述光束从所述光源(10)撞击所述样品; 一分光镜(31)，其在空间上分散所发出的光拆分通过所述分束器(17)根据所述波长; 一个检测器(32)，其检测所发射的光通过所述的分散分光镜(31); 和一个针孔阵列(30)，其是位于所述入射侧上的所述分光镜(31)，和在其多个针孔的(42)，其允许所发射的光通过分光镜(31)上侧，被设置。 |
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