| 显微镜和样品观测方法。 |
| KR1020067009422 2005-2-25 发明授权 |
| 2012-9-14 |
| 用于一半导体装置S作为检查对象，本发明提供了一种图像获取部1，一种光学系统2包括一物镜透镜20，和一个固体浸没透镜(SIL)3之间可移动的插入位置包括一个光学轴线从所述的半导体装置S到所述物镜透镜20和一待机位置离所述的光学轴。然后观察两个控制模式中进行是由一个第一模式，其中所述SIL3中的被位于所述待机位置和在其聚焦和像差校正是进行基于一种折射率N0和一个所述的半导体装置的一基板的厚度T0S，和一个第二模式在其中所述SIL3是位于在该插入位置和在其聚焦和像差校正是进行基于所述的折射指数不和厚度，以所述基板，和一折射指数n1，一种厚度D1，和一曲率的半径R1的SIL3。这提供了一种显微镜和一样品的观察方法能够容易地进行观察的所述样品用于分析的必要的微结构或该等所述的半导体装置。 |
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