| 扫描电子显微镜 |
| WOJP11006307 2011-11-11 发明申请 |
| 2012-9-13 |
| 传统的扫描电子显微镜被定义的晶格状样品是通过预先假设产生用于每个电子显微镜，其所述正交角是所述的电子显微镜的正交独立的，所述格状的样品被观看的图像通过装置的所述显微镜，和校正被施加到所述的电子显微镜控制电路在这样的一种方式使该样品观察作为该屏幕上被正交。还，基于所述校正视觉上判断在该屏幕和所述手动实现校正由一种人。不过，与这种方法，它要产生的变化是可能的，用于在所述正交用于每个装置的角度由于生产所述格状样品中的变化。此外存在一个问题，其产生的变化是在术语中校正的精度，因为校正被实现手动。以解决这些问题，一种颗粒样品是使用而不是一种晶格状样品，以调节所述正交角; 和调整是这样的一种方式中进行图像，其应被圆形被观察为圆形; 从而使它可能以调节所述正交的角度。 |
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