| 自动聚焦装置和显微镜 |
| JP2011032866 2011-2-18 发明申请 |
| 2012-9-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种自动聚焦装置的聚焦对象的透镜到任意位置一样品和继续跟踪所述样品。溶液 : 一个自动聚焦装置1具有 : 一个用于聚焦的照明光学系统5辐射一狭缝图像(投影图像)。样品18上的一狭缝板22通过一个第一对象的透镜12; 一种图像形成用于聚焦光学系统7用于接收所反射的光投影的图像从所述样品18通过第一的物镜12和进行图像形成所述反射该投影图像的图像; 一种用于自动聚焦的30CCD传感器用于检测该反射图像; 一个用于焦点位置调整透镜8用于移动焦点位置的至少一个所述的投影图像和所述的反射图像在所述的光学轴方向; 和一个信号处理器，用于自动聚焦信号31用于输出一个信号用于控制一个动作的一个焦点致动器。在这种情况下，可调光阑2被提供到至少一个所述的照明光学系统的用于聚焦5和所述图像形成用于聚焦光学系统7和一用于所述的照明光的数值孔径，用于用于所述反射的光聚焦或一数值孔径，用于聚焦被改变。版权 : (C)2012，inpit |
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