| 电子显微镜 |
| WOJP12054728 2012-2-27 发明申请 |
| 2012-9-7 |
| 本发明提供一种电子显微镜能够增加的一种磁屏蔽功能，即使该结构，其具有一物镜透镜，其伸入样品室空间。所述的电子显微镜是提供具有 : 一个物镜(6)用于聚焦电子束和照明样品(4); 一个样品室容器(5)用于形成一试样室，其容纳所述试样(4); 一个样品室内部磁屏蔽(7)提供所述样品室容器(5); 和一个管形的物镜磁屏蔽(8)用于围绕所述周边所述物镜的透镜(6)。一第一和第二中的孔面对所述，其中所述电子束行进中的方向被设置在一上板(10)，所述样品室容器，其中形成所述的上壁(5)，和在所述上屏蔽所述样品室(9)的磁屏蔽(7)。所述的物镜(6)被保持在第一的内孔设置在所述上板(10)。该物镜(6)的下端被定位在一个所述的下端位置低于所述上板(10)，和在该第二孔的位置设置在所述上屏蔽(9)，或在这个位置附近的位置。所述物镜的磁屏蔽(8)是位于内部的第一孔，其和所述下端被连接。以所述上屏蔽(9)。 |
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