| 显微镜装置 |
| JP2011028195 2011-2-14 发明申请 |
| 2012-9-6 |
| 要解决的问题 : 以提高工作的效率通过减少检查时间通过获取图像的暗场独立地和同时照明和亮场照明。溶液 : 一个物镜41包括一内筒41b用于保持一个光学系统4a1a，其收集光从样品12和一个透镜镜筒41c，其围绕所述内筒4a的外壁1b和同心地设置之。一种照明光学系统20包括一个偏振器25和一个环-形的半波板27。一个检测光学系统40具有第一和第二分析器43和44，在其中一个的所述分析器和所述偏振器25满足所述平行尼科耳状态和所述分析器和所述偏振器25所述其它的满足所述交叉尼科耳状态。第第一成像拾取装置51用于从所述样品12通过所述对象的光成像透镜41和第一分析器43和第二成像拾取装置52用于从所述样品12的光成像所述暗场照明下通过所述对象的透镜41和第二分析器44被提供作为一个成像拾取装置。版权 : (C)2012，inpit |
微信公众号