| 扫描显微镜 |
| JP2011030747 2011-2-16 发明申请 |
| 2012-9-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜具有一个小尺寸和重量轻的XY电磁镜一对。溶液 : 该扫描显微镜具有 : 一激光单元，其是一光源，用于发射一激光束，其被照明光; 一个物镜，用于冷凝和辐射该激光束在样品16; 和控制型和谐振式电流表扫描器11，12，其中所述激光单元之间设置被扫描部分和所述对象的透镜，用于扫描该样品16的一个表面通过所述激光束。另外，该控制型和谐振式电流表扫描器11，12具有 : X反射镜11aX，12aX是第一镜; 和Y反射镜11aY，12aY，其被第二反射镜。在这种情况下，所述X反射镜11aX，12aX和Y反射镜11aY，12aY被设置成使得所述所述激光束的入射角度是小于45度。版权 : (C)2012，inpit |
微信公众号