| 扫描电子显微镜 |
| JP2011027619 2011-2-10 发明申请 |
| 2012-9-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜中，其中所述一个扫描图像的对比度和亮度可以更适当地调整。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个扫描单元，其与电子束扫描样品，检测器12其检测从所产生的电子通过它与电子束照射样品，一种图像处理单元，其产生通过使所述扫描信息的图像数据和一个检测信号从所述检测器12与每个其它相对应，以及一控制操作单元，其所产生的图像数据的图像质量调整从所述图像处理单元和所述检测信号发送到所述图像处理单元从所述检测器12。基于所述的图像质量被调整在所述图像处理单元中所产生的图像数据从所述检测获得的信号通过所述检测器12检测所述参考光12a6a从一参考光输出单元126输入。版权 : (C)2012，inpit |
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