| 扫描电子显微镜 |
| JP2011027970 2011-2-11 发明申请 |
| 2012-9-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜在其一个图像是通过同时获得在平行使用多个相邻的电子束，和所述二次分别产生的电子通过各电子束扫描检测。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个运动机构可移动的一平面，同时安装所述样品中的样品; 多个微物镜，其照射样品安装在所述独立地与多个主电子束运动机构，同时聚焦细，偏转器设置在关联与该多个微物镜和所述主电子束偏转以扫描所述样品安装在所述运动机构，分别，和检测器设置在关联与该多个微物镜在所述从所述所述样品上照射方向相反的轴向方向的所述主电子束其中所述二次发射的电子从各自的样品被聚焦在所述轴在所述的磁场所述多个微物镜，和检测和独立地乘所述二次电子的。版权 : (C)2012，inpit |
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