| 缺陷提取扫描电子显微镜检查系统，和提取方法，其 |
| JP2011031514 2011-2-17 发明申请 |
| 2012-9-6 |
| 要解决的问题 : 提供一种与一种扫描电子显微镜检查系统，用于执行一个检查用于所述一基板上的一缺陷检测的目的与一电路图案的半导体装置，一个液晶，或该等在其上形成，其允许所述的易于识别一微小缺陷和伪一个其已经硬以识别，和一种检查方法。溶液 : 该方法包括 : 一伪缺陷检测一个有缺陷的位置或通过加入真正的缺陷的图像或获得的图像信号由每个位置上进行扫描的一个号码，和比较所述图像或图像信号，其在所述的数是不同的添加与每个其它。在所述的方法，其中一伪缺陷和一个真实的缺陷，以检测是通过一种组合确定的在所述的图像比较操作的不同在所述数量的增加。版权 : (C)2012，inpit |
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