| 在延迟场扫描电子显微镜中使用可动刀切片机和包括该切片机的延迟场扫描电子显微镜 |
| US13408054 2012-2-29 发明申请 |
| 2012-9-6 |
| 本发明公开了一种用于在扫描电子显微镜(SEM)的腔室内原位驻留的切片机和包括该切片机的SEM。 该切片机包括用于在其上以高电压保持样品以在其上产生延迟场的样品保持器和可移动刀片。 SEM包括设置在样品保持器附近的反向散射电子检测器。 所布置的刀将被携带成与试样保持器上的试样接合，以将试样的一部分切开以暴露试样的新表面，而不干扰试样上的高电压，并且被安装成使得在接合试样以暴露试样的新表面之后，将其缩回到缩回位置，在缩回位置上它不干扰延迟场。 |
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