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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

位移检测机构及使用该位移检测机构的扫描型探头显微镜

CN201210052249.8 2012-3-1 发明申请

2012-9-5

本发明的目的在于，提供一种非光学杠杆方式或自检测型的位移检测的悬臂位移检测机构以及使用该悬臂位移检测机构的扫描型探头显微镜。利用由LC谐振器和F-V变换器构成的悬臂位移检测器，检测悬臂与试样表面间的静电电容变化，从而能够检测悬臂的位移。由此，能够在遮断光的状态下进行形状测定或物性测定，并且，能够测定由于有光无光引起的试样的形状或物性信息的变化。