| 多个检测共焦显微镜 |
| KR1020120042501 2012-4-24 发明授权 |
| 2012-9-4 |
| 目的 : 一种多-共焦显微镜检测是通过选择提供给计算一个精确的三维轮廓最准确的信号该信号从每个检测单元根据表面之间的反射率。结构 : 一个光分配器(120)改变该路径的所述产生的光从光源(110)。一种物体透镜(130)发射光到一个样品(500)。一个附加的光分配器(140)将所述所反射的光的光通过设置在所述路径从所述样品。多个检测单元(150)包括一个销的孔(15a，2a，152aB)和一个检测器(15a)1a，151aB)。所述销孔接收所述的光分离从该光分配器，所述检测器检测所述的光通过该销孔。版权kipo2012 |
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