| 用于双束低能电子显微镜紧凑布置 |
| US13071412 2011-3-24 发明授权 |
| 2012-9-4 |
| 一个实施例涉及一种用于在样品上产生两个空间重叠电子束的装置。 第一电子束源被配置成产生低能电子束，并且能量色散装置将低能电子束朝向半透明电子反射镜弯曲。 半透明电子镜被偏置以反射低能电子束。 第二电子束源被配置成产生穿过半透明电子镜中的开口的高能电子束。 低能电子束和高能电子束进入相同的能量色散装置，使两束电子束向试样弯曲。 设置在高能电子源和半透明电子反射镜之间的偏转系统被配置成以补偿由能量色散器件引入的低能电子束和高能电子束之间的弯曲角度差的角度偏转高能电子束。 还公开了其它实施例。 |
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