要解决的问题 : 提供一种用于一种扫描型探针显微镜的悬臂模块，其防止所述的劣化该侧上的所述电部件的一扫描型探针显微镜测量时是主体，以提高耐久性使用一个执行自检测式悬臂和易于交换一个悬臂。

溶液 : 该悬臂模块40用于扫描型探针显微镜是配备有一悬臂20具有一个探头在其前端20a和配备与不只有一个位移检测装置，用于检测自位移，但也所述检测电极的终端25a该位移检测装置，一悬臂保持部(40a)X用于保持所述悬臂在其前端部40a和具有一个外部连接终端4a～d在它的后端部40b通过一个延伸部(40a)C，和一连接结构40aY用于电连接所述检测电极终端和所述外部连接端子。