产业专利数据
 
扫描电子显微镜
 
JP2011020297  2011-2-2  发明申请
2012-8-23
 
  要解决的问题 : 以提供一种台式电子之间的显微镜包括一个排空系统能够切换的高真空和低真空。溶液 : 一从原始空间抽空的空间不同的机构和滑动轴与所述真空力为制备，和当所述轴旋转的其他轴上滑动的机构也提供。最后，所述高真空侧上的两个阀和所述的低真空侧被切换通过旋转所述轴。一桌面电子显微镜可切换的两个步骤中所述样品室中的真空状态可被获得的。版权 : (C)2012，inpit
 
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