| 自适应模式扫描探针显微镜 |
| WOGB12050204 2012-1-31 发明申请 |
| 2012-8-9 |
| 一个扫描探针显微镜包括一个探头，其是机械响应于一个驱动力。一信号发生器提供了一个驱动信号到一个致动器，其产生所述驱动力，该驱动信号被例如，以使所述致动器以重复地移动所述探头朝向和远离从一个样品。一种检测系统被设置，以输出一个高度信号表示的一个路径反射的光之间的差从所述探头和一个高度参考束。图像处理装置被设置到使用该高度信号，以形成一个图像的所述样品。信号处理装置被设置到监视器所述探针作为所述探头接近一样品，以检测一个在其所述探针相互作用表面位置与所述样品。在响应于检测所述表面的位置，所述信号处理装置提示所述信号发生器来修改所述驱动信号。 |
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