| 扫描器型显微镜 |
| JP2011002931 2011-1-11 发明申请 |
| 2012-8-2 |
| 要解决的问题 : 之间的偏差引起的影响，以减少该扫描器的位置和所述光瞳当样品被观察到的位置在一物镜扫描的同时，通过使用该扫描器的照明光。溶液 : 所述的照明光从光源22照射在样品12通过经过一个准直器透镜23或第一的物镜30。在这个时间，通过具有所述的照明光偏转通过一扫描器单元27，观察表面的所述样品12是通过扫描所述的照明光。在某些情况下，所述光瞳第一的物镜30被未填充由所述的照明光，当所述的照明光被制成以在两个正交的方向偏转到每个其它由于至少一个的所述两个扫描反射镜构成所述扫描仪单元27不具有共轭的关系与第一物镜30。因此，通过放大所述光束宽度的所述的照明光通过一个光束扩展器24，光瞳是总是填充不管所述的偏转角度的所述的照明光。本发明可以被适配到扫描器式显微镜。版权 : (C)2012，inpit |
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