| 扫描电子显微镜 |
| WOJP12051530 2012-1-25 发明申请 |
| 2012-8-2 |
| 本发明是一种扫描电子显微镜提供具有一种功能，用于扫描一个样品与第一束其一个表面上形成一初步电荷的样品(1909)用于释放电子(1910)的高效检测从所述底部的所述接触孔或与一第二等和此后扫描光束用于观察所述样品。该扫描电子显微镜，其特征是通过扫描偏转器(1905)被控制，使得所述电荷密度在所述所述扫描区域的边缘部分(B)是大于所述的电荷密度在所述中心部分(A)所述当扫描被执行的扫描区域与第一束。因此，一种扫描电子显微镜其中一个给定的电位梯度由一初步的电荷被控制而不改变所述透镜条件可以被提供。 |
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