| 扫描探针显微镜的组合与所述对象表面的一个装置用于修改 |
| EP11152796 2011-1-31 发明申请 |
| 2012-8-1 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜的组合与一种样品的表面的一个装置用于修改(40)包括 : -一底座(1)，其上有安装 : O一冲头(2)提供与第第一驱动(4)和用于在所述表面的至少一种所述修改所述样品(40)和O的一机构(6)。用于该样品(40)提供所述的运动与一第二驱动(7)，-一种扫描装置(33)安装在该机构(6)用于所述的移动所述样品(40)，-所述样品(40)固定在所述扫描装置(33); -一个第一的夹具(27)具有一个探针(28)适合于用于探测所述样品(6)和-一个控制单元适合于用于控制至少所述的扫描装置(33)和所述探头(28)。根据本发明，它包括一个平台(18)与一第一和第二引导在其一个可移动滑架(26)被安装。所述平台(18)被固定在所述的机构(6)用于所述的移动所述样品(40)。第一夹具(27)与所述探头(28)被安装在所述可移动的滑架(26)。 |
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