| 用于精细工作的操纵装置的显微镜 |
| JP2006221399 2006-8-15 发明授权 |
| 2012-8-1 |
| 要解决的问题 : 提供一种操纵装置能够高效地去除绝缘膜的，将一探针，以一个测量点和定位它有效地，和执行分钟时工作在可操作性和可靠性优异的直接测量所述一种深层的电特性的多层微布线，例如一种半导体集成电路，和分析一个有缺陷的点，同时观察样品和一针下所述的微型探针的点所述的可视场一显微观察图像。 溶液 : 所述微操纵装置，用于微观微小工作包括一局部的等离子体机构和一个结构，其中等离子体毛细管管定位阶段中保持一等离子体毛细管，它是一个边缘部分所述局部的等离子体机构，一个样品台，和一个或多个探针被放置在一探针座，以及所述探测器基是可拆卸地安装在所述显微视场。 版权 : (C)2008，inpit |
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