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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

制作金属材质原子力显微镜探针之方法

TW100103143 2011-1-27 发明申请

2012-8-1

本发明提出一种创新的制程技术来制作金属材质导电原子力显微镜探针。其制程步骤首先将金属薄片裁切成探针之平面形状，再利用夹持具将平面形状之探针定位，并用夹持具上模与夹持具下模将该探针之针尖折弯成大约90°，最後利用电化学蚀刻制程来锐利该探针之针尖，而制作出金属材质之原子力显微镜探针。其优点不仅探针之成本低廉且更具韧性。而当探针变钝时可利用电化学蚀刻技术再度尖锐化。