自动聚焦机构和显微镜装置
 
JP2010294260  2010-12-28  发明申请

2012-7-26
 
  要解决的问题 : 聚焦在样品与精度。溶液 : 一个自动聚焦机构10包括 : 一照明光学系统11用于收集照明光投射到样品一与一盖玻璃5在一个线形状; 一个用于投影物镜透镜13所述收集在一个线状照明光到所述样品和收集反射的光从所述盖玻璃5,一种检测单元15具有一个成像表面36倾斜地设置有关于收集到一个所反射的光的光学轴线通过该物镜透镜13和用于拍摄所反射的光和检测图像信息,和一个聚焦调整单元17用于相对移动所述物镜透镜13和所述样品一与所述盖玻璃5在所述的光学轴方向上,使得所述光强度最高的位置在所述检测到的图像信息通过所述检测单元15是位于所述的光学轴上所反射的光。版权 : (C)2012,inpit
 
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