扫描电镜电子背散射衍射用样品台
 
CN201120465500.4  2011-11-22  实用新型

2012-7-25
 
  本实用新型涉及一种扫描电镜样品台,是一种扫描电镜电子背散射衍射用样品台,包括放置于扫描电镜样品台内的带凹槽的底座和插于凹槽内并可在凹槽内前后移动的倾斜样品台;带凹槽的底座为圆形,其外圆与扫描电镜的底座内圆相吻合;倾斜样品台呈平行四边形结构,其与水平面所成的锐角为70°,倾斜样品上下两面均与带凹槽的底座互相平行;倾斜样品台的一侧设有用于放置试样的侧凹槽。本实用新型可根据试样厚度大小进行前后滑移并旋转,可测量大样品或同时测量多个样品,试样在倾斜样品座内也可以根据试样表面平整度进行角度倾斜调节,确保被测样品表面倾斜70°。本实用新型稳定性好,不易滑移,确保结果精确度,操作方便,极大地提高了工作效率。
 
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