| 扫描电子显微镜的操作方法 |
| US13029998 2011-2-17 发明授权 |
| 2012-7-24 |
| 一种使用扫描粒子束显微镜检查物体的方法，所述方法包括 : 通过横向扫描所述高分辨率模式的粒子束，以高分辨率模式操作所述显微镜； 以3D模式操作显微镜，用于通过横向扫描3D模式的粒子束来获取物体的三维表示； 其中高分辨率模式的粒子束和3D模式的粒子束具有相同的束能量和相同的焦距； 并且其中3D模式的粒子束的孔径角比高分辨率模式的粒子束的孔径角大至少2倍，或大至少5倍，或大至少10倍，或大至少100倍。 |
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