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白光干涉显微镜，以确定测量的物体表面形貌，是提供与光源之间的照明光束路径和测量对象

DE102011000213 2011-1-19 发明申请

2012-7-19

本发明涉及一种用于调节一表面形貌的白光的干扰显微镜下一项目的测试(1)。与一源极之间的光的照明光束的路径(80)和下该项测试(1)和一个图像下该项测试(1)之间的束路径和一个图像传感器(90)。所述白光的干扰显微镜其特征在于，通过所述的事实使照明光束路径中的一个横向scanelement被设置。