| 扫描电子显微镜 |
| WOJP11006130 2011-11-2 发明申请 |
| 2012-7-19 |
| 本发明提供一种电子显微镜其中一种通常可用的排气组件被使用，例如一涡轮分子泵，离子泵，或一个旋转泵，与它实现一装置是可能的，以安全地执行的观察或吸附一个高-rarity对象。一种安全的SEM照片，其具有一电放电被实现的低风险通过包括 : 一个探针; 一种装置，用于更换所述样品室的内部具有一规定的气体; 和一种装置，用于成像的离子电流检测或吸收的电流检测。另外，一个装置被设置用于控制该电压的极性，其是赋予所述探针。此外，一控制装置被设置用于控制所施加的电压值与所述探针根据所述度该试样内的真空室。 |
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