| 光学部件，用于积分所述的光学显微术到所述原子力显微术保持最大所述原子力显微镜的性能。 |
| EP11305031 2011-1-12 发明申请 |
| 2012-7-18 |
| 本发明涉及一种装置结合的原子力显微镜AFM技术具有光学成像技术。所述装置包括 : -一光源(48)和一个光检测器(50)用于光学成像一个样品(41); -一个样品夹持器(42)设置在所述光源和所述样品之间的所述的光路径，-一种AFM悬臂(40)用于测量该样品的形貌所述样品的铺设(41)上的一个侧保持器(42); AFM测量装置(45，46)用于测量所述悬臂(40)的变化，-一种扫描装置(43)用于移动所述样品夹持器(42)相对于所述AFM悬臂(40)。 |
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