| 一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统 |
| CN201210005208.3 2012-1-10 发明申请 |
| 2012-7-11 |
| 本发明公开了一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统，包括扫描电子显微镜的基座和操作器，在操作器上固定有激光测力器，该激光测力器通过光纤与位于扫描电子显微镜外部的激光控制器相连接；所述的激光测力器包括有激光头，悬臂梁，滑块和固定块，其中，悬臂梁连接在固定块上，滑块和固定块通过螺栓相连接，激光头穿过滑块对准悬臂梁。工作时，样品对悬臂梁端部的反作用力会导致悬臂量发生变形，该变形可通过激光器实时测得。力的大小是通过实时计算激光距离的变化获得。其体积小，结构简单，稳定性高，实时性强，可在真空下工作，特别适合在电子显微镜内部实现对显微样本的操作和测量。 |
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