| 施加到其上的带电颗粒束显微镜与衍射像差校正器 |
| WOJP11007244 2011-12-26 发明申请 |
| 2012-7-5 |
| 一衍射像差校正装置被配置成具有一结构的一个校正器包括一螺线管线圈的多极环，和一个功能的调整所述向量电势的正交性和轴向偏差的程度与相对于一光束轴，所述的操作原理的基础上衍射像差校正，其控制所述相位的一个电子使用所述aharonov束-bohm效果。所述衍射像差校正器被施加到带电颗粒束显微镜，通过安装所述衍射像差校正装置，其中感应出矢量电位具有一个与所述光束分布在右角相交的轴和其内是对称的一种面垂直于所述束轴线，一个物镜光阑和一物镜透镜附近，以产生一相位的差值。一衍射波进行在相对于所述束轴线倾斜是能够增加，通过穿过一个磁通环，所述内的相位差，所述光束的直径与所述aharonov-bohm引起的效果通过所述矢量电位，和所述的电子光束的强度在一个样品可以由此被禁止。 |
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