| 参考件用于校正，用于制造相同的过程，和使用相同的扫描电子显微镜 |
| WOJP11007245 2011-12-26 发明申请 |
| 2012-7-5 |
| 本发明提供一参考件，其具有，所述相同的平面上，横截面的一种多层膜包括交替地叠加不同的材料，多个的第一标记图案，其具有被设置平行于所述的多层薄膜的横截面通过一个第一硅层，至少一对的第二标记图案，其具有被设置在所述反向侧的所述多层薄膜的横截面从第一标记图案和平行于所述的多层薄膜的横截面通过一个第二硅层，其被厚度大于第一硅层，和硅层分别设置在所述相反侧的第一标记图案和第二标记图案到所述的多层薄膜的横截面。与所述基准部件，在电子显微镜放大倍率校正被自动地和稳定地进行高精度。 |
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