| 一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜 |
| CN201120424355.5 2011-11-1 实用新型 |
| 2012-7-4 |
| 本实用新型公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连，L型基座侧板上部设有第三转接板，第三转接板上顺次设有动平移台、Z轴直流电动平移台、压电陶瓷固定块，压电陶瓷固定块垂直设有压电陶瓷，压电陶瓷下端顺次设有前置放大电路单元、探针夹持机构和探针。本实用新型通过本实用新型将扫描隧道显微镜技术的测量范围从微米量级提升到毫米两级，深宽比测量能力从小于1 : 1提升到50 : 1以上，从而提高了扫描隧道显微技术在微纳测量领域的应用能力。 |
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