| 用于扫描探针显微镜的方法和传感器 |
| RO201001104 2010-11-12 发明申请 |
| 2012-6-29 |
| 本发明涉及一种方法和用于扫描探针显微镜SPM的传感器，其允许进行原子力显微镜模式AFM确保直测量的样品和样品之间的相互作用力。所要求保护的传感器允许进行通过AFM模式的三维工业扫描器(1)设有附着样品，N-O(2)相互作用的样品(3)放置在一个的石英晶体电极，命名为传感器(5)和检测块(6)保证信号表示相关联的值的石英晶体参数测量AFM使用的控制系统(7)。所要求保护的方法，确保了控制的三维扫描器(1)和观察的形貌的标本(3)或机械的参数特征的该样品(3)以接触方式，排斥模式，或在非接触的方式，吸合连接。 |
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