| 用于电子束线和显微镜具有集成电子束停止器、电子检测器和X射线检测器的高收集效率X射线光谱仪系统 |
| US13041265 2011-3-4 发明申请 |
| 2012-6-28 |
| 本发明提供了一种用于实现在电子束线和显微镜上使用的信号检测的X射线光谱仪系统和方法。 X射线光谱仪系统(XSS)包括X射线检测器(XD)，该X射线检测器(XD)测量X射线信号并定位在样品附近。 在XD和样品之间设置有环境隔离窗和电子束停止器。 环境隔离窗和电子束停止器保护XD免受直接通过样品传输的电子的影响。 电子探测器位于电子束停止器和样品之间，允许测量散射电子。 XD在X射线光谱仪系统中测量X射线信号。 |
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