| 扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法 |
| CN201110386089.6 2011-11-28 发明申请 |
| 2012-6-27 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法，其包括以下步骤：提供表面上带有角刻度的标准件；将该标准件放置到该可旋转固定器的支撑面上，使电子枪对准该标准件上的第一角位置：在扫描电子显微镜中输入一预定角度，以使可旋转固定器旋转该预定角度，此时，该电子枪对准该标准件上的第二角位置，并通过扫描获得该第二角位置和该第一角位置之间的角度差；将该角度差与该预定角度进行比较，得到可旋转固定器的角度误差值。通过本发明可快速方便的检测和确定晶圆固定器和电子枪在360度的平面空间范围内的相对位置精度。 |
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