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透射电子显微镜微栅及其制造方法

US12848321 2010-8-2 发明授权

2012-6-26

一种透射电子显微镜(TEM)微栅格，包括其中限定有多个孔的纯碳栅格和覆盖所述孔的至少一个碳纳米管膜。一种TEM微栅的制造方法，包括以下步骤。首先提供一种纯碳栅前体和至少一种碳纳米管膜。所述至少一个碳纳米管膜设置在所述纯碳栅前体的表面上。然后切割所述纯碳网格前体和所述至少一个碳纳米管膜以形成所需形状的TEM微网格。