| 聚焦维护装置和显微镜装置 |
| JP2010268140 2010-12-1 发明申请 |
| 2012-6-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一聚焦只维护装置能够检测的AF光即使当一个波长AF的光被与信号光的波长和重叠的照明光和一个显微镜装置具有所述聚焦维护装置。溶液 : 在一显微镜装置60具有一物镜透镜61，一聚焦维护装置10用于保持焦距; 所述物镜透镜61的平面在一规定位置的一样品包括 : 一光源部20用于通过一个规定的发光AF光强度-调制频率fM; 一种QPd40作为一个光检测部分，用于检测光并输出一个检测信号; 一个聚焦光学系统30用于与AF光照射该样品通过所述物镜透镜61和引导AF由所述样品到所述QPd40反射的光; 一锁定放大器41中用于提取一信号具有所规定的频率FM从所述检测信号输出从所述QPd40; 和一个控制部分50用于保持所述物镜的焦平面61所述规定位置处所述的样品的相对移动所述样品用于所述物镜透镜61所述所提取的信号的基础上。版权 : (C)2012，inpit |
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