共焦显微镜
 
JP2010268972  2010-12-2  发明申请

2012-6-21
 
  要解决的问题 : 以提供一个共焦显微镜可同时检测的观察光的光束的多个波长和实现节省空间。溶液 : 提供一第一的光屏蔽部件10其上的多个狭缝的用于限制的一部分一个照明光束和形成多个狭缝光的光束被形成,扫描装置12,一物镜透镜4,用于收集所述多个狭缝的光从第一的光屏蔽部件10和扫描光束通过所述样品2上的扫描装置12和突出的一狭缝图案通过所述多个狭缝光的光束在该样品2,第二的光屏蔽部件20设置在一个具有第一位置共轭光屏蔽部件10和其上的多个狭缝,用于限制部的观察光的光束从所述样品2和收集由所述物镜透镜4被形成,和一个用于检测光检测器28a光束穿过所述多个狭缝第二的光的屏蔽部件20。一个所述的多个狭缝第二的光的屏蔽部件20具有一不同的波长传输特性从所述其它狭缝。版权 : (C)2012,inpit
 
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