| 显微镜 |
| JP2012006789 2012-1-17 发明申请 |
| 2012-6-21 |
| 要解决的问题 : 提供一种显微镜能够保持的焦点,即使当校正像差在一个物镜透镜。溶液 : 一显微镜包括 : 一个级502到其上安装一样品; 一物镜透镜506与一个像差校正功能,具有一个像差校正透镜以正确的一厚度误差一个样品的保持部件50a3a和相对的到该级502; 电-驱动的行驶装置509到行驶所述像差校正透镜; 光检测装置535以检测光进入光接收表面; 一个检测光学系统534到导光通过所述物镜透镜506与一个像差校正功能以所述光检测装置535所述的光接收表面; 电-驱动聚焦装置501以改变所述级502之间的距离和所述物镜透镜506与一个像差校正功能; 一种观察光学系统533以从所述样品发射的光通过所述物镜透镜506与一个像差校正功能和所述光转换成一个所述样品的观察图像; 和处理装置540所述样品以得到所述的图像的对比度在所述光接收表面,重复控制所述电驱动的行驶装置509和所述电驱动聚焦装置501,聚焦所观察图像,和校正像差所观察的图像。版权 : (C)2012,inpit |