| 用于在电子显微镜中产生和使用具有量化轨道角动量的多个电子束的系统和方法 |
| US13372914 2012-2-14 发明申请 |
| 2012-6-21 |
| 一种用于在诸如扫描透射电子显微镜的电子探针束仪器中使用具有工程化位错的电子束作为扫描探针的系统和方法。 这些类型的电子束具有独特的性质，并且可以提供比常规电子束更好的关于样品的信息。 可以基于设置在纳米级全息图上的图案产生相位位错，该图案可以被放置在电子探针束仪器的电子光学柱中。 当来自该仪器的电子束被引导到全息图上时，当电子从这些全息图衍射时，相位位错可能被压印到电子束上。 例如，可以出现具有螺旋相位位错的电子探针束。 这些螺旋位错是使用具有叉形图案光栅的全息图形成的。 螺旋位错可以用来提供样品的磁性对比图像。 |
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