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近场扫描光学显微镜
US13015701 2011-1-28 发明申请
2012-6-21
本发明公开了一种近场扫描光学显微镜。 显微镜包括照明部件、探针和椭球镜。 照明部件发出光。 所述探针设置在测试样品的一侧,所述光聚焦在探针尖端周围,以将近场光引出。所述探针设置在测试样品的一侧,所述光聚焦在探针尖端周围,以将近场光引出。 所述椭球镜具有第一焦点和第二焦点,所述第一焦点和所述探针尖端设置在相应的位置,从所述探针尖端引出的近场光从所述椭球镜内部的第一焦点散射,并反射通过所述第二焦点。
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