| 使用所述相同的扫描电子显微镜和长度测量方法 |
| WOJP11078013 2011-12-5 发明申请 |
| 2012-6-21 |
| 本发明的电子扫描显微镜包括一个电子源(102)，电子光学系统(109，110，111)用于曝光的样品(113)到主电子束(138)，一个电子检测器(127)用于检测信号从所述样品发出的电子(139)，和一个减速电场型能量滤波器(108)。所述减速电场型能量滤波器具有一半导体薄膜(304)用于区分所述能量信号的电子。与这种配置，它是可能的，以实现一种扫描电子显微镜具有一个减速电场型能量滤波器与其高的能量分辨率获得的是，即使在一壳体，其中所述扫描电子显微镜具有一个减速光学系统。 |
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