| 扫描探针显微镜及其运动检测装置 |
| CN201110308381.6 2011-10-12 发明申请 |
| 2012-6-20 |
| 本发明公开了一种运动检测装置及采用该运动检测装置的扫描探针显微镜，其中所述运动检测装置包括光电传感器、激光产生器、第一反射镜、第二反射镜以及包括第一端和第二端的光纤或光纤组件。其中来自激光产生器的激光经由第一反射镜被投射到所述光纤或光纤组件的第一端，部分激光通过第一端射入所述光纤或光纤组件，部分激光被反射至所述第二反射镜并经由第二反射镜反射出去。射入所述光纤或光纤组件的激光通过所述光纤或光纤组件的第二端投射至探测目标并由所述探测目标反射回所述光纤或光纤组件内，由所述探测目标反射的激光通过所述光纤或光纤组件的第一端投射至所述光电传感器。这样，可以实现利用激光来检测探测目标的微弱运动。 |
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