| 用于断层扫描电子显微镜的样品中分析方法 |
| RU2010154723 2010-12-27 发明授权 |
| 2012-6-20 |
| 字段 : 物理学。物质 : 本发明涉及扫描电子显微术和可被用于无损层-通过-层的测试样本; 特别是微-和纳米电子制品。本发明采用所述的背散射电子以使沉积的能力的分子该样品的表面上残留吸附的烃。当所述样品被暴露到聚焦电子束，一个carboatomic环周围形成该入射光束的点。所述环的直径取决于该组合物，厚度和深度的层通过所述背散射电子的交叉。，其相关性为该断层分析的基础。所述环是一种模拟的光谱标记-所述样品的一个唯一的特征，所述的所述位置标记在所述样品的表面与一可变层-通过-层结构是一种模型上的跟踪。层在不同的深度被该分析中涉及的当该加速电压被改变。所述样品中所述的电子轨道的长度是确定从所述表面上形成的环carboatomic的测量在不同的角度倾斜，以所述光束的所述轴。区分的可能性固体基板，包括硅，砷化镓，下双-层涂层不具有的深度分辨率小于10a…100anm是表现出。根据所述加速电压，水平分辨率从几微米变化到几个百纳米的。效果 : 高可靠性和精度的处理测量results.5Cl，12显示 |
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