| 光强度测量单元和包括所述相同的显微镜 |
| JP2010263184 2010-11-26 发明申请 |
| 2012-6-14 |
| 要解决的问题 : 提供一种技术，以准确地计算每个单元区域的强度光暴露在一测量样品的表面区域。溶液 : 一个用于测量光强度测量单元1发出的光的强度从一个显微镜包括 : 一孔径光阑3; 一视场光阑5; 至少一个测量透镜4之间设置所述孔径光阑3和所述视场光阑5; 和一个接口部分2a，用于被安装到所述的显微镜。所述孔径光阑3位于在所述后侧上的一焦点附近的所述至少一个测量透镜4以动作等的光瞳的一物镜透镜。所述视场光阑5位于在所述的一焦点在所述前侧附近的所述至少一个测量透镜4，以便定义一个区域用于所述的光的强度计算每个单元区域。版权 : (C)2012，inpit |
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