| 扫描电子显微镜 |
| US13313606 2011-12-7 发明申请 |
| 2012-6-14 |
| 在透镜镜筒的开口端设置与观察对象接触的密封构件,使得当通过真空泵在透镜镜筒中产生真空时,观察对象能够经由密封构件被吸引到透镜镜筒,并且与透镜镜筒直接紧密接触地固定。 换言之,代替提供样品室,即使没有样品室,观察对象也被固定成与透镜镜筒紧密接触,以防止它们之间通过吸力的相对移动。 在这种配置中,尽管没有样品室,但透镜镜筒的内部可以保持在真空状态,并且在观察期间不会发生不利影响,因为透镜镜筒和观察对象不通过振动相对于彼此移动。 |