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用于近场扫描光学显微镜的集成高折射率对比度亚波长光学转换针尖(HICSWOTT)
US12590685 2009-11-12 发明授权
2012-6-12
提供了一种用于近场扫描光学显微镜(NSOM)的光学尖端。 光学尖端包括具有半导体或金属芯和包层的波导。 芯层和包层之间的折射率平方比对比度至少为0.3。 光学尖端还可以包括光检测器和光源。 波导、光源和光检测器可以被集成以形成单个芯片。
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